仪器型号：Regulus8220 生产厂家:日本日立公司
主要技术指标：
1、电子光学系统
1.1 二次电子分辨率：0.6nm@15kV、0.7nm@1kV
1.2 加速电压：最低0.5kV；最高30kV
1.3 放大倍数：最小20倍；最大200万倍（底片模式）
1.4 电子枪：冷场发射电子枪
1.5 电子束流：1pA～20nA
2、样品室
2.1 样品台：5轴自动马达驱动
2.2 配有样品交换仓
3、检测器
二次电子检测器：顶位、高位及低位二次电子探测器
4、能谱仪
4.1可分析元素周期表5-95号元素
4.2能谱分辨率≥128eV
送样要求：
1. 样品需干燥、无磁性、不含油、不易挥发
2. 粉末样品需要研磨均匀，粒度大小均一
3. 块状样品的边缘不要超过样品台（样品台为圆形，最大直径为1英寸）