2025冲补强）油品转化与烯基新材料创新平台建设（二期）

反应磁控溅射镀膜设备

1、真空系统：系统的极限压强优于5x10-4 Pa，真空抽速（洁净腔体），从大气抽到5*10-3 Pa的时间≤20分钟。

2、靶枪模块：靶枪模块至少含3只溅射阴极，同时带自动挡板设置，根据工艺需求独立控制开启，靶枪采用水冷，磁路模块需要可更换。

3、气体控制：至少支持2路工作气体，气体质量流量计控制精度应优于±1%。

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辛宾宾

广东石油化工学院设备更新项目

重油热加工性能评价装置

1. 包括电容闪蒸、直流电源脉冲、阶段升温、组合放电、线性放电五种热模式；

2. 支持液体、粉末、薄膜加热；

3. 电容闪蒸1秒最高≥3600℃.；

4. 直流电源焦耳热2800℃以内可准确控温,可持续≥4min；

5. 可以扩展外置大功率电源，50ms内可升温≥3000℃；

6. 可实现毫秒级脉冲；

7. 能实现连续裂解催化反应

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范钦臻